等離子廢氣處理設備適用范圍廣，凈化，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫(yī)藥等行業(yè)。 占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止，隨用隨開。但一次性投資稍高，有些企業(yè)就難以接受，但從長遠角度看，這樣的技術儀器是不錯的。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿?nbsp;  物質(zhì)，或使物質(zhì)轉(zhuǎn)變成   或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含   化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較   量的活性基團發(fā)生反應，   終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。

等離子體降解廢氣是利用這些   電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解污染物的目的。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得。作為環(huán)境污染處理中的一項具有強潛在優(yōu)勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。